具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器,高水平的去除氣體管道內的粒子,同時實現高選擇性。(可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下)品牌:PURERON型號:PGFPURERON陶瓷氣體過濾器PGF系列.pdf 具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器,高水平的去除氣體管道內的粒子,同時實現高選擇性。(可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下) 性能特點對于亞微米LSI工藝,須向使用點供應高純度工藝氣體。為此,超清潔管道也是一個主要問題。為了滿足這些要求,Pureron Japan開發了使用陶瓷作為過濾元件的全新過濾器,并在穩定條件下實現了0.003 m深圳市華聯歐國際貿易有限公司長期優勢供應PURERON陶瓷氣體過濾器PGF等產品,100%正品保證,價格優惠,貨期快,型號全,歡迎前來咨詢合作。所有歐美工控產品型號齊全,質量保證,價格全網最低,而且報價快,貨期短,歡迎來電咨詢!
具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器,高水平的去除氣體管道內的粒子,同時實現高選擇性。(可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下)
品牌:PURERON
型號:PGF
PURERON陶瓷氣體過濾器PGF系列.pdf
具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器,高水平的去除氣體管道內的粒子,同時實現高選擇性。(可以滿足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下)
性能特點
對于亞微米LSI工藝,須向使用點供應高純度工藝氣體。為此,超清潔管道也是一個主要問題。為了滿足這些要求,Pureron Japan開發了使用陶瓷作為過濾元件的全新過濾器,并在穩定條件下實現了0.003 m的高精度過濾。蝕刻和薄膜所需的高選擇性。
去除諸如水和氧的雜質對于尋求高選擇性是非常重要的。為了確保去除雜質,高溫烘烤是必不可少的。Pureron Japan的陶瓷過濾器就是從這個角度開發的,可以在200 C下進行高溫烘烤。通過免維護操作降低成本。
三層過濾結構,取決于顆粒直徑的大小,很少產生堵塞。與傳統過濾器相比,陶瓷過濾器還具有良好的耐久性和耐熱性。因此,生產停工造成的損失很小,實現了長期成本降低。
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