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Purion系列離子注入機是與客戶合作開發的，旨在應對當前和未來10nm或更低晶圓廠工藝的挑戰。Purion 平臺建立在 21 世紀的架構之上，采用獨特的使能技術設計，可提供最高的純度、精度和生產率，以及最低的擁有成本。
每個晶圓廠都是獨一無二的。這就是為什么Axcelis花時間了解您的工藝流程，并根據您的特定需求定制離子注入解決方案。Axcelis優化相應的平臺，以滿足一系列應用的特殊要求——從存儲器到高級邏輯，從圖像傳感器到功率器件。Axcelis重大的研發投資創造了一套基于現代架構的不斷擴展的離子注入平臺，并針對當今新興的半導體應用進行了優化。Axcelis繼續投資于下一代技術，以使Axcelis客戶在創新曲線上保持領先地位。
Axcelis始終將環境，社會和治理政策和目標整合到Axcelis的業務運營中。與所有管理實踐一樣，Axcelis的政策和目標已經并將繼續隨著Axcelis的業務和全球優先事項而發展。
Axcelis歡迎投資者關注Axcelis的環境，社會和治理政策和目標，Axcelis致力于與投資者分享有關這些主題的適當、相關和重要數據。
與Axcelis業務的各個方面一樣，ESG 風險和改進機會在Axcelis的企業風險管理系統和戰略規劃流程中得到解決，這些流程由Axcelis的董事會監督。Axcelis認為，鑒于ESG主題對Axcelis業務的重要性，整個董事會都應該監督這些主題。
為了滿足市場對極端圖像質量和分辨率的需求，圖像傳感器制造商必須生產兼具高像素密度和極低金屬污染的芯片。為了實現這種平衡，同時最大限度地提高產量和盈利能力，制造商面臨著一些困難的技術挑戰。
晶圓廠面臨的主要挑戰：
實現紅光和近紅外光子的高量子效率
最大限度地減少暗電流和白像素缺陷
減小像素大小
Axcelis解決方案：
Axcelis通過業界最先進的離子注入解決方案幫助圖像傳感器芯片制造商應對這些挑戰。Axcelis的 Purion 平臺提供：
更高的光束能量 — 高達 15 MeV
使用Axcelis獨有的矢量控制系統進行精確的角度控制
無與倫比的低金屬污染水平
Axcelis的 Purion XE 系列離子注入機已迅速成為當今要求苛刻的高能配方的行業標準。他們獨特的射頻直線加速器（LINAC）技術提供比競爭平臺更高的可靠性，更寬的能量范圍和更高的生產率，并具有卓越的金屬污染控制。
純度
Axcelis基于 RF LINAC 的光束線中的多重過濾技術可過濾掉其他設計遺漏的雜質，從而實現業界最低的金屬和顆粒污染水平。
精度
專有的 VectorTM 控制系統獨特地提供原位水平和垂直測量和校正，可實現零度植入。
生產力
借助Axcelis的高速 Purion 終端站和基于 RF LINAC 的光束線，可實現高達 500 WPH 的吞吐量，在最廣泛的能量范圍內（從 40keV 到 15MeV）提供業界最高的波束電流。
優化您的能量水平
Purion 高能量系列包括各種植入器，允許您為您的應用選擇最佳能量水平：
Purion XE — 12 級直線加速器，能量高達 4.5 MeV
Purion EXE — 12 級 LINAC，能量高于 Purion XE，高達 5.25 MeV
Purion VXE — 帶能量增強器的 14 級 LINAC 可提供高達 8 MeV 的能量
Purion XEmax — 雙直線加速器設計，采用專利升壓技術TM，可提供高達 15 MeV 的最高能量
Purion XE Power 系列—XE 和 EXE 型號專為大批量功率器件鋁注入、150mm SiC 晶圓處理或 200mm 薄硅晶圓處理而設計。
GSD平臺是制造和支持時間最長的批量離子注入機的行業基準。Ovation 是最新的批量配置，旨在與現有的 Axcelis 批量植入機機群無縫集成，同時通過更新的組件提供漸進的性能改進，以實現長期可持續性。Ovation 將 GSD 系列平臺的生產相關性擴展到未來，同時提供最高的可靠性、可維護性和最低的運營成本。
100%向前推進可持續性
新的 Ovation 配置是行業用于擴容及其他領域的記錄工具。創新的改進，如虛擬機 RAID 工作站和高性能終端站，結合主動的持續改進路線圖，能夠以最快的速度、最具成本效益的方式擴展、優化和維持平臺功能。
提高可靠性
該系統可減少 95% 的真空晶圓處理誤處理和晶圓破損。Ovation 平臺提供持續的可靠性計劃和強大的軟件支持，以確保最高水平的工具正常運行時間。
運營成本
創新的氫氣發生器、源套管屏蔽和長壽命提取電極的組合可將源運營成本降低多達 40%，尤其是氟化物質。
優化您的批處理過程
Ovation 介紹包括各種植入器，可讓您為批量植入過程選擇最佳能量范圍。
GSD/E2 鼓式 – 適用于一般大電流應用。
GSD/HE 歡呼 – 10 級直線加速器，能量高達 3 MeV
GSD/VHE 歡呼 – 14 級直線加速器，能量高達 4.9 MeV
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