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MicroSense的電容式傳感器業務由Robert C. Abbe于1967年創立，最初是ADE公司的一部分。ADE公司以其富有遠見和新穎的高分辨率、非接觸式測量方法而聞名，適用于要求苛刻的尺寸測量應用。隨著時間的推移，ADE成長為世界領先的裸半導體晶圓測量工具供應商。用于位置和位移測量的高分辨率電容式傳感器（也稱為“蓋規”）成為“ADE”和MicroSense的商標名稱“MicroSense”的代名詞。
MicroSense提供基于專利電容傳感技術的電容式傳感器和OEM計量模塊，對精密產品進行非常精確的高帶寬測量，如太陽能晶圓、藍寶石晶圓、硬盤驅動器電機、空氣軸承主軸、精密X-Y平臺、光盤、汽車零件和機床。MicroSense的電容式位移傳感器提供業內最高的分辨率，小于0.05納米，具有出色的穩定性和幾乎無限的使用壽命。
屢獲殊榮的磁性測量工具，MicroSense磁性計量業務始于25年前的數字測量系統（DMS），自1997年以來一直作為ADE技術的一部分。MicroSense擁有世界一流的磁力測量專家團隊，是用于磁性測量的高靈敏度振動樣品磁力計的領先供應商。MicroSense的振動樣品磁力計有多種型號可供選擇，具有各種功能、場范圍、分辨率和選項。MicroSense的VSM系統用于全球最負盛名的磁性實驗室的基礎磁性研究，包括學術和商業領域。還提供一系列在線生產磁性計量工具，以滿足當今快速發展的硬盤存儲系統的制造嚴格要求。2012年，MicroSense推出了世界上第一個用于MRAM晶圓開發和制造的300毫米非接觸式磁特性測量工具。
用于晶圓尺寸測量的創新工具MicroSense提供高靈敏度晶圓測量工具，用于表征藍寶石，碳化硅和各種類型的半導體晶圓。MicroSense于2012年<>月收購了亞利桑那州坦佩的SigmaTech，Inc.。通過此次收購，MicroSense在其創新計量解決方案組合中增加了領先的晶圓檢測工具。SigmaTech系統集成了多種傳感技術，如光譜法、干涉法和SigmaTech的專利自動定位背壓（APBP）技術。
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非接觸式位置測量，在短距離范圍內具有高分辨率
MicroSense的電容式傳感器提供任何市售電容式傳感器中最低的噪聲性能，可實現納米甚至皮米分辨率。提供多種類型的傳感器 - 這些“特定應用”電容式位置傳感器針對高穩定性和線性度或最高測量帶寬進行了優化，以實現快速響應。
所有 MicroSense 精密電容式傳感器均具有：
完全非接觸式電容式位置測量 - 最精確的電氣傳感技術
檢測任何導電、接地的目標 – 表面光潔度或材料對精度沒有影響
針對短測量范圍進行了優化 – 10 微米至 4 毫米，具體取決于傳感器尺寸
MicroSense低噪聲優勢 - 位置傳感器具有納米分辨率、高穩定性和無與倫比的精度
非常適合非接觸式位移測量和短距離尺寸測量，從 ± 5 微米到 ± 2 毫米。
高精度 – 0.02% 滿量程線性度典型值，無周期誤差或遲滯
與任何接地的導電靶材一起使用 - 材料或表面光潔度對精度沒有影響
非常穩定 – 傳感器頭的散熱基本為零
易于設置的電容式位置傳感器MicroSense 的電容式位置傳感器使用單個傳感器來檢測接地的導電目標 - 比雙傳感器設計緊湊得多。MicroSense 4810 包括一個緊湊型電子模塊（解調器），帶有用于模擬傳感器輸出的連接。檢測目標的傳感器頭或探頭通過 3 米長的電纜連接到電子模塊。包括一個低噪聲電源。
MicroSense的 2800 系列探頭提供各種傳感器尺寸，以滿足您的確切性能要求。
行業標準±通過前面板上的 BNC 插孔提供 10 V 模擬輸出，可輕松連接到示波器、頻譜分析儀或基于計算機的 A/D 板。
易于讀取的前面板儀表簡化了探頭設置。
還提供 4800 型 3U 歐洲卡機架安裝版本。
精密電容式位置傳感器 – 8810 型MicroSense 8810 型是一款非接觸式精密位置傳感器。8810 專為實現最佳線性度和穩定性而設計，測量帶寬高達 20 kHz，是伺服系統位置反饋和快速工具伺服應用的理想選擇。
新型號采用超低噪聲設計、亞納米分辨率，并增加測量帶寬以實現快速響應。
非常適合非接觸式位移測量和短距離尺寸測量，從 ± 5 微米到 ± 2 毫米。
高精度 – 0.02% 滿量程線性度典型值，無周期誤差或遲滯
與任何接地的導電靶材一起使用 - 材料或表面光潔度對精度沒有影響
非常穩定 – 傳感器頭的散熱基本為零
MicroSense 8810 包括一個緊湊型電子模塊（解調器），帶有用于模擬傳感器輸出的連接。檢測目標的傳感器頭或探頭通過 3 米長的電纜連接到電子模塊。包括一個低噪聲電源。
使用MicroSense的 SpinCheck 主軸計量系統和非接觸式電容式位移傳感器測量和分析主軸和電機性能
SpinCheck 系統包括臺式電腦、數據采集和計時板、全面的 SpinCheck 測量和分析軟件以及相關的電纜和附件。SpinCheck 測量并存儲所有數據，以供分析、顯示、打印或存儲以備將來使用。
精確測量任何旋轉機構的誤差運動
設計用于與MicroSense的非接觸式精密電容式傳感器配合使用，可提供納米級分辨率。
先進的專利異步采樣技術可準確測量周期性和非周期性誤差。
測量隨時間和頻率變化的參數
提供多達 6 個測量通道
預設限值的生產模式測試
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