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ANNEALSYS快速熱化學氣相沉積系統MC
瀏覽次數：878 發布于：2023-04-16
帶燈加熱的直接液體噴射汽化器使 MC-050成為一種獨特的機器，具有像集群工具一樣的多工藝能力，但在一個單一的工藝室內。
Annealsys MC-050系統是為滿足研發單位的要求而開發的2英寸DLI-CVD/DLI-ALD反應器。
紅外燈爐與直接液體注入蒸發器相結合，在同一工藝室內提供獨特的多工藝深圳市華聯歐國際貿易有限公司工業自動化品牌產品種類眾多，我們可提供從獨立元件到全面集成的定制系統解決方案及工業備品備件選型服務，每種解決方案都可以為客戶帶來高效的靈活性和附加值。我們是工業自動化的全球合作伙伴;我們的目標是可持續發展。我們的專業是自動化;我們的使命是創新。我們的激情來自合作伙伴關系!誠信為首、正品采購、價格優惠、品質保障、體貼的服務為您提供安全、可靠、完善的售前、售后服務，不斷追求更加卓越的企業品質，向專業多元化的產品模式穩步前進。下文華聯歐小編將為您詳細講解有關《優勢供應ANNEALSYS快速熱化學氣相沉積系統MC》等內容，歡迎您繼續閱讀，祝您生活愉快，謝謝~
帶燈加熱的直接液體噴射汽化器使 MC-050成為一種獨特的機器，具有像集群工具一樣的多工藝能力，但在一個單一的工藝室內。
Annealsys MC-050系統是為滿足研發單位的要求而開發的2英寸DLI-CVD/DLI-ALD反應器。
紅外燈爐與直接液體注入蒸發器相結合，在同一工藝室內提供獨特的多工藝能力：CVD、ALD、MOCVD、RTP 和 RTCVD。
直接液體注入 (DLI) 蒸發器可控制前體流量，并允許使用低蒸氣壓和稀釋的化學前體。與旁通閥相關的前體蒸汽流的快速切換為納米層壓板的沉積提供了界面控制。
MC-050是使用廣泛的固體和液體有機金屬前體開發新材料和納米層壓材料的機器。
性能特點
MC-050 可以使用廣泛的有機金屬前體進行化學氣相沉積和原子層沉積工藝，同時提供原位退火功能。
- 氣體混合能力與質量流量控制器
- 6個汽化器
- 手套箱裝載選項
- 可選擇高真空能力
可選功能與配件
MC-050可配備6個直接液體注入蒸發器和兩個用于高蒸氣壓前體的起泡器。
- 高溫計溫度控制
- 粗真空泵、渦輪泵
- 手套箱接口和手套箱
- 遠程等離子
- 臭氧發生器
技術參數
- 基板尺寸：直徑可達2英寸
- 溫度范圍：室溫至 1100°C
- 電壓：3x400V+N+Gr/3x220V+Gr
- 功率：21千瓦
- 水：2至4巴，壓降1巴，8升/分鐘
- 壓縮空氣：6巴（閥門驅動）
- 真空范圍：大氣壓至 10-3 Torr
- 產地：法國
產品應用
MC-050提供了廣泛的新材料開發能力，包括單金屬氧化物和多金屬氧化物以及過渡金屬●二硫化物 (TMD) 和其他二維材料。
- 簡單和多金屬氧化物
- 金屬、氮化物和合金
- III-V，寬帶隙半導體
- 二維材料：石墨烯、氮化硼、MoS2、WS2、MoSe2、WSe2 ...
- ETC
詳細參數
產品應用
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